13. Технология серийного производства микроэлектромеханических устройс

Для нового класса устройств – МикроЭлектроМеханических Систем (МЭМС) разработан технологический маршрут производства кристаллов чувствительных элементов, на отечественных промышленных мощностях. Решены вопросы связанные с принципиальной возможностью серийного производства таких систем, повышением коэффициента выхода годных, измерением и контролем качества. В настоящий момент изделия производятся серийно. Отличительной чертой проекта является то, что работы выполнялись без существенного научно-технического задела, разработанный технологический маршрут и ряд технологических приемов являются оригинальными и не были ранее известны.