Технология создания нанопористого анодированного оксида алюминия

Метод разделения газовых смесей

Химический микрореактор для локального осаждения покрытий методом CVD

Печатающая головка струйного принтера

Кремниевые тепловые микротрубки

Датчик дифференциального давления повышенной точности.

13. Технология серийного производства микроэлектромеханических устройс